超大型板材管材真空鍍膜機

日期:2016/1/13 10:16:58 人氣:2940
超大型板材管材真空鍍膜機

工作原理

離子鍍是真空室中,利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應物沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現象、等離子體技術和真空蒸發三者有機結合起來,不僅能明顯地改進了膜質量,而且還擴大了薄膜的應用範圍。其優點是薄膜附著力強,繞射性好,膜材廣泛等。多弧離子鍍與一般的離子鍍有著很大的區別。多弧離子鍍采用的是弧光放電,而並不是傳統離子鍍的輝光放電進行沉積。簡單的說,多弧離子鍍的原理就是把陰極靶作為蒸發源,通過靶與陽極殼體之間的弧光放電,使靶材蒸發,從而在空間中形成等離子體,對基體進行沉積。

應用範圍

可以鍍製不鏽鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬膜,也可鍍製合金膜或化合物,如TiN\TiAlN\CrN膜等,臥式多弧離子鍍膜機主要針對大麵積五金工件鍍裝飾膜或者功能膜,適合於在不鏽鋼板、不鏽鋼管、不鏽鋼門等工件表麵鍍膜。

產品特點

1)、此類設備真空室最大尺寸能實現 φ5000X10000MM(長)
2)、是在大型板材、管材上鍍製各類裝飾膜層及功能膜膜層的必選設備。

技術參數表

HLB係列大型板材管材真空鍍膜機     
型號HLB-1800HLB-2000HLB-3000HLW-2000HLW3000HLW-4000HLW-5000
真空室尺寸 Φ1800×2000MMΦ2000×2000MMΦ3000×3000MMΦ2000×6000MMΦ3000×6000MMΦ4000×8000MMΦ5000×10000MM
真空機組雙KT800擴散泵機組雙KT1000擴散泵機組雙KT1000擴散泵機組*2套雙KT1000擴散泵機組雙KT1000擴散泵機組*2套雙KT1000擴散泵機組*2套雙KT1000擴散泵機組*4套
鍍膜係統專用多弧鍍膜電源+多功能孿生磁環弧靶+柱形弧靶(可選配)
輔助鍍膜係統低溫離子輔助源(除工具鍍外無需加溫係統)
充氣係統質量流量計
控製方式手動或全自動
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa
備注以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做
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