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真空鍍膜設備需要的環境要求

作者: 來源: 日期:2018/1/5 15:47:32 人氣:998
真空鍍膜設備要在真空條件下工作,因此該設備要滿足真空對環境的要求。真空對環境的要求,一般包括真空設備對所處實驗室(或車間)的溫度、空氣中的微粒等周圍環境的要求,和對處於真空狀態或真空中的零件或表麵要求兩個方麵。
這兩個方麵是有密切聯係的。周圍環境的好壞直接影響真空設備的正常使用;而真空設備的真空室或裝入裏麵的零件是否清洗,又直接影響設備的性能。如果空氣中含有大量的水蒸氣和灰塵,在真空室沒有經過清洗的情況下用油封機械泵去抽氣,要達到預期的真空度很難的。眾所周,油封式機械泵不宜抽除對金屬有腐蝕性、對真空油其反應的以含有顆粒塵埃的氣體。水蒸氣為可凝性氣體,當大量抽除可凝性氣體時,對泵油的汙染會更加嚴重,結果使泵的極限真空下降,破壞了泵的抽氣性能。
工業環境中的粉塵是以粉狀體、眼無題、粉塵來區分的。粉狀體是粉末或固體顆粒的集合或分散狀態的物質。所謂粉末是指微小的固體顆粒的集合,而顆粒是指能夠一個一個計數的微小物質。煙霧體是以固體或液體的微小顆粒呈浮狀態存在於氣體中的物質體係。物質無論是固體還是液體,凡是呈顆粒狀態均可統稱為塵粒。以塵粒直徑的大小來確定空氣清潔度的標準,從而定製出潔淨室的等級。不僅適合於有潔淨要求的工業部門,也適合於真空對潔淨環境的要求。
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