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真空鍍膜機的各部分組成及其工作原理

作者: 來源: 日期:2018/1/18 13:27:24 人氣:1049
真空鍍膜機是目前製作真空條件應用最為廣泛的真空設備,一般用真空室、真空機組、電氣控製櫃三大部分組成,排氣係統采用擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold組成。
下麵,詳細介紹真空鍍膜機的各部分組成及其工作原理:
1、真空主體:真空腔根據加工產品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應用最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不鏽鋼材料製作,要求不生鏽、堅實等,真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。  
2、輔助抽氣係統:排氣係統為鍍膜機真空係統的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。此排氣係統采用"擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold"組成。排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小於2.0*10-2PA左右的低真空狀態,為擴散泵後繼抽真空提供前提,之後當擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成抽氣動作。 
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